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高精度石英MEMS传感器系列产品研发  
我有意向    2024-05-13    浏览:279  
技术简介
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成熟度证明
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一、成果介绍
单晶石英材料具有优秀的压电特性,以及高品质因数、高弹性模量等特性,采用单晶石英制作的石英 MEMS 加速度传感器、压力传感器和陀螺等,具有高精度、高稳定性、高分辨力等特点,在微型惯性导航系统、姿态测量与控制等领 域具有广泛应用,对国民经济和国防安全具有重要意义。
二、成果亮点
实现了石英谐振加速度计、压力传感器和陀螺的工程化批量生产,打破了国外的技术垄断,实现了低成本、小体积、高精度的石英 MEMS 传感器的制造。



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