一、成果介绍
单晶石英材料具有优秀的压电特性，以及高品质因数、高弹性模量等特性，采用单晶石英制作的石英 MEMS 加速度传感器、压力传感器和陀螺等，具有高精度、高稳定性、高分辨力等特点，在微型惯性导航系统、姿态测量与控制等领 域具有广泛应用，对国民经济和国防安全具有重要意义。
二、成果亮点
实现了石英谐振加速度计、压力传感器和陀螺的工程化批量生产，打破了国外的技术垄断，实现了低成本、小体积、高精度的石英 MEMS 传感器的制造。